1、在表面清洗处理中的应用。需要提高成品率的半导体器件、液晶表示元件、光学制品等制造中，紫外线和臭氧并用的干式光表面处理技术已成不可缺少的技术手段；
2、在表面改性处理中的应用。改性的基本的反应就是紫外线引起的氧化反应。紫外线照射固体表面后，表面的污染物被氧化，而后被分解成二氧化碳和水等易挥发性物质，最终挥发消失。并且表面形成有利表面接着的亲水性原子团，被改性的表面接着性得到飞跃性地提高；
3、促进植物生长，诱杀蚊虫。细菌中的脱氧核糖核酸、核糖核酸和核蛋白的吸收紫外线的最强峰在254至257纳米。细菌吸收紫外线后，引起DNA链断裂，造成核酸和蛋白的交联破裂，杀灭核酸的生物活性，致细菌死亡。
