pet材料刻蚀是激光通过石英透镜聚焦后，照射在置于真空室内的pet膜片上，膜片可以转动。被激光照射后生成的产物由四极质谱（英国SXP300型）检侧，同时用一个基板来沉积固体产物。XeCl准分子激光器输出波长为308nm，脉宽10ns，单脉冲能量40-110mJ可调。聚苯醚酷全称聚对苯二甲酸乙二醉酌，简称pet，激光刻蚀高分子膜的研究内容之一是每个激光脉冲刻蚀膜层的深度。
pet是乳白色或浅黄色高度结晶性的聚合物，表面平滑而有光泽。耐蠕变、耐抗疲劳性、耐磨擦和尺寸稳定性好，磨耗小而硬度高，具有热塑性塑料中最大的韧性：电绝缘性能好，受温度影响小，但耐电晕性较差。无毒、耐气候性、抗化学药品稳定性好，吸水率低，耐弱酸和有机溶剂，但不耐热水浸泡，不耐碱。
