四氟化硅。
无色、有毒、有刺激性臭味的气体。熔点-90.2摄氏度。四氟化硅在潮湿的空气中因水解而产生烟雾，生成硅酸和氢氟酸。在冷冻下加压可凝成液体。能溶于硝酸和乙醇。四氟化硅比较稳定。四氟化硅易被碱液分解，四氟化硅可由单质硅和氟反应制得。可用浓硫酸处理石英砂和萤石的混合物或用氢氟酸处理二氧化硅来制备，在潮湿空气中水解生成硅酸和氟化氢，同时形成浓烟。用于制取氟硅酸和化学分析。可用浓硫酸、氟化钙、二氧化硅混合强热制取。
