amsl工作原理

作者:原创时间:2022-06-19
文档

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

在半导体芯片制造设备中,投资最大、也是最为关键的是光刻机,光刻机同时也是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。光学光刻技术与其它光刻技术相比,具有生产率高、成本低、易实现高的对准和套刻精度、掩模制作相对简单、工艺条件容易掌握等优点,一直是半导体芯片制造产业中的主流光刻技术。

显示全文
眉毛种植多久长出来 对深爱的人说的心里话 苹果世界排名第几 儿童智商多少算正常 知了猴简介 范丞丞和范冰冰有什么关系 骑士和爵士有什么区别 如何防止狗往汽车轮胎上撒尿 如何隐藏我的相册 肇事叫人顶包算逃逸吗 求地理气候特征 领带的下端应在皮带的哪个位置 下嘴唇厚唇妆怎么画 dnf力量卡片有哪些 美图秀秀白色圆圈遮脸怎么弄 影响汽轮机排汽室温度升高的因素 酱豆腐干怎么做做法如何 峨眉山在哪个省份 个体工商户多少免税 三星a9视频播放形式怎样变更 比亚迪f0电池型号多大 暮鼓对什么 求助微信未读信息怎么显示出来 关于春节的四字词语 产品经理需要具备什么样的能力如何培养 单反标头能拍月全食吗 assoonas什么意思 低热量又饱腹的零食 养罗威纳犬为何断尾 北极驱邪院是个怎样的机构 绝望无助的时候该怎么办 肥料里面含的有机质是指什么 南京花神庙那有什么好玩的 狗狗吃多了会吐吗 手机副卡的流量是用主卡的吗 副镇长是什么级别 辣子白怎么炒 卓诗尼是几线品牌 凤凰自行车和永久哪个好 代缴个税怎么算