汉武帝时，出现刺史监郡制。汉武帝在中央御史中丞的属下设刺史13人，分片监察各郡国，所分片区称为部州。当时的13部州分别是：豫州、冀州、兖州、徐州、青州、荆州、扬州、益州、凉州、朔方州、并州、幽州、交州。
为了监察中央官吏，汉武帝又专设了司隶校尉，负责督察京都所在地的三辅、三河和弘农七郡。
武帝设刺史后，汉成帝曾改刺史名为州牧，汉哀帝又把州牧改回刺史，以致西汉到东汉末，刺史，州牧的名称改来改去，但名称变化中，刺史的权力不断增大，品级也由六百石上升到二千石。东汉中叶以后，刺史有不少受命领兵，而至东汉末年，刺史已拥兵一方，治所固定，属官大增，由监察官已演变成地方军政长官，郡县制也因此演变成州、郡、县三级地方行政制度。
