四氟化硅熔点负九十点二摄氏度，四氯化硅熔点负七十摄氏度。两种物质都是非极性分子，和氢键没有关系。但是四氯化硅体积大，范德华力中的色散力大。所以四氟化硅的熔点比四氯化硅低。四氯化硅主要是作为改良西门子法生产多晶硅的副产物得到，四氟化硅主要是作为磷肥工业的副产物氟硅酸分解得到，但足二者纯度都不能满足生产多晶硅的要求，需进行分离纯化得到高纯物质。
