等离子清洗机的清洗机理主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：
1、无机气体被激发为等离子态；
2、气相物质被吸附在固体表面；
3、被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；
4、产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面；
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