高纯四氯化硅为无色透明液体,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色,有窒息性气味。常温常压下密度1、48,熔点-70℃,沸点57、6℃,沸点随着压力增高而增高。
在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢。遇水时水解作用很激烈,也能和醇类起激烈反应。溶于四氯化碳、四氯化钛、四氯化锡。对皮肤有腐蚀性。用于制硅酸酯类、有机硅单体、有机硅油、高温绝缘漆、硅树脂、硅橡胶等,也用作烟幕剂。