真空规管:
定义:真空规管就是测量真空度的传感器;原理:测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理显示出被测真空环境的真空度;用途:主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。分类:
热偶规:目前国内的热偶规主要有51系列,53B/54D等。主要应用于低真空测量;皮拉尼系列(电阻规管):目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量;热阴极规管:主要型号有ZJ-2系列,ZJ-10系列,ZJ-27系列,B-A规等。该型规管主要应用于高真空