目前通行的脱硫脱硝工艺大致可分为干法、半干法和湿法三类。其中干法脱硫脱硝工艺包括选择性非催化还原法 、选择性催化还原法、电子束联合脱硫脱硝法、脉冲电晕法等。半干法脱硫脱硝工艺有活性炭联合脱硫脱硝法。湿法脱硫脱硝工艺有臭氧氧化吸收法、石膏吸附法等。
