一般使用氦制冷机组，产生超低温环境，将空气经过层层过滤。除去油和干燥后，把其他可以过滤的物质都过滤了。得到基本只有气体的空气。然后使用高压空气压缩机，压缩到容器里，再开始冷冻，冷冻系统运转的同时不断压缩空气进去，然后达到所要提取的气体中，最高临界温度的一个的温度时，冷冻机组断开，并且保持这个温度，开始减压，第一个气体开始蒸发。然后完成后，使机组保持的温度设置低一点，第2个气体开始蒸发。不断循环 ，到达氮气，得到的氮气还是不纯，还需要把这些气体再做一次上面的步骤再做一次。经过多次操作，分离出高纯度的气体随后再次冷冻，储存在低温液槽内。当需要气态时，就蒸发少量出来，然后加压充装。如果要液态，那么直接抽出装到低温罐子或低温槽罐车里即可。
