人工生成臭氧的主要方法主要有：电化学法、光化学法及电晕放电法等。
电化学法是利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧的方法。电解法生成臭氧具有抽样浓度高、成分纯净、在水中溶解度高的优势，在医疗、食品加工、养殖业及家庭应用等方面具有广泛前景。
光化学法是仿效大气层上空紫外线促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法，即用人工产生的紫外线促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法。此种方法产生臭氧的优点是对温度、湿度不敏感、可以控制臭氧浓度及产量。
电晕放电法是在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧的过程。电晕放电法臭氧发生器是相对能耗较低、单机臭氧产量最大、市场占有率最高、应用最广的臭氧发生装置。具有结构简单、可维护性好且性能良好。
