离子受电场加速后，在飞行途中碎裂而产生的离子称为亚稳离子。亚稳的意思是介于不稳定和稳定之间。如果是稳定的离子，在离子源生成之后可一直稳定的存在，直到被检测。如果是不稳定的离子，它在离子源内即以破裂成了别的离子。亚稳离子介于上述两种离子之间，是从离子源出口到检测器之间产生的离子。