真空泵有哪几种

作者:原创时间:2022-06-16
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真空泵的分类:

按工作原理分类:

1、气体输送泵,包括变容真空泵、动量传输泵;

2、气体捕集泵,包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。

按真空度分类:

1、粗真空度;

2、高真空度,包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵;

3、超高真空度。

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